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(半導體)快速退火爐[產品打印頁面]

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: (半導體)快速退火爐
產品型號: TUIHUO0-812
產品展商: 上海升利
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簡單介紹

(半導體)快速退火爐


(半導體)快速退火爐  的詳細介紹

內膽尺寸:寬530*430*220mm


外形尺寸(約): 920  *900  *740   mm


溫度范圍:室溫+450可調(根據加熱板實際熱承受能力而定)
加熱方式:采用鑄鋁加熱板


溫度波動度:≤±1


溫度均勻度:測溫探頭的精度為±0.5℃,控溫點在加熱板上部對角兩點及測溫的側面一點, (恒溫空載狀態下)(加熱板的溫度均勻性±1℃)


升溫速率:≤8℃/min .空載時升溫速度:室溫到200℃在8分鐘內到達;


外殼溫度:溫升不超過環境+25℃,門周邊除外。


電源:三相五線制,380V,50HZ


總功率:20KW,使用功率16KW


外殼材料:外層A32.0冷板

內膽材料:采用5mm厚SUS304不銹鋼板制作

保溫材料:采用1400型纖維毯保溫,具有不可燃燒,隔熱性強等特點,厚度為60mm

煙氣隔離罩:爐體左右后三個面用亞克力板圍起來,爐體正面做對開式門,四周用玻璃膠密封,開爐時可讓煙氣有效排除。
密封材料:密封條采用直徑10mm發泡硅膠條制作,可耐溫不變形,門與內膽采用單層密封形式,加強密封效果
門:配兩個圓形觀察窗,爐門密封圈不易老化和燒壞,真空門裝有電腦控制氣缸開啟和關閉(閉合傳感器,確定門關閉)可90度運動

觀察窗:采用圓形觀察窗口,觀察窗直徑80,生產過程一目了然。

控制系統

加熱部分:采用導熱板加熱,帶水冷急速冷卻


冷卻部分:爐口方管及加熱板


電箱:電箱與烘箱分離安裝

抽真空:箱體抽氣口加裝電磁閥閥(帶過濾器)直徑100*180mm


氮氣部分:氮氣,需加電磁閥控制,氣管管徑直徑8mm,設備側面設有氮氣接口和甲酸接口,并用一個三通的常閉電磁閥,其后再接一個電磁閥,以控制進入腔體的氣體量,電磁閥使用方向按客戶要求進出氣方向安裝。


溫控部分:采用微電腦智能型溫控器



控制器:采用臺灣琦勝HM-782S觸摸屏,精度高,穩定性好,設有手動,自動,工業設定等功能,配日本三菱PLC控制器(FX2N-48MR,與臺灣琦勝(型號PLL-2010-002A)可編程控制器通訊控制,能控制顯示3個溫區并能階梯式程序升溫,預留3個控溫探頭

流程:合門鎖---抽真空---充氮氣---自動加熱---溫度曲線---高溫抽真空---真空泵停止---冷卻降溫---停止充氮---電子門鎖---取料完成(供方負責加工,需方負責編程設計)

溫度傳感器:擱板兩個感溫探頭預留在加熱板頂部對角處,加熱板側面配一個超溫的感溫探頭,K型探頭PID溫度控制器需使用3個臺灣琦勝溫控器,2個程序表,1個顯示表

自動恒溫:溫控器可根據用戶設定的溫度值,采用PID自動計算輸出功率的大小,越接近溫度設定值時,輸出功率越小,以達到恒溫控制的目的,并可節能省電

真空度:采用數顯ZDZ-52T/E 電阻真空計,傳感器采用成都睿寶品牌,10分鐘內抽至20pa20分鐘內漏率80pa


電磁閥:(上海西馬特)電磁閥,1:真空擋板閥GDQ-7/KF16KF,2:截止閥(氮氣充甲酸、水、空氣GDC-A3:壓差式充氣閥CYC-JQ

接地保護:結構件安全接地保護。

電源缺相、相序保護:配有相序保護器

環境溫度:-5-40

相對濕度:≤85%RH

電源:AC380V±10%50Hz



蘇公網安備 32058302001659號

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